TripleGauge® BCG552 在一個傳感器法蘭中結(jié)合了 3 個真空傳感元件。這款全新 Trigon TM系列的旗艦產(chǎn)品提供了從 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1500 mbar) 的極寬測量范圍。憑借其附加的 ATM 傳感器，BCG552 非常適合壓差測量并在多種應(yīng)用中用作真空開關(guān)。

支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲在 UHV 和 HV 范圍內(nèi)提供的精度、可重復(fù)性和使用壽命，而小型電容膜片壓力計在 ATM 范圍內(nèi)具有的精度，并且與氣體類型無關(guān)。

德國inficon熱電離真空計BCG552優(yōu)點

ü 3 + 1 傳感元件可實現(xiàn)極寬的測量范圍、降低成本并節(jié)省空間

ü 2 條用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的燈絲

ü 10 Torr 以上的獨立于氣體類型的壓力測量為任何氣體混合物提供更可靠的負載鎖定控制

ü 壓差測量消除了與大氣壓力變化相關(guān)的不確定性

ü 自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員干預(yù)

ü 電隔離電子器件以避免雜散電流

ü 滑動排放模式可避免切換排放流時壓力跳躍和凍結(jié)

ü 設(shè)定點繼電器

ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面

ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®

ü 可與 VGC50x 控制器系列結(jié)合使用

ü 向后兼容 TripleGauge® BCG450

ü RoHS 合規(guī)性

德國inficon熱電離真空計BCG552典型應(yīng)用

· 半導(dǎo)體工藝、傳輸室和負載鎖定室中的壓力測量

· 工業(yè)涂料

· 低至真空范圍系統(tǒng)的一般真空測量和控制

inficon熱電離真空計BCG552規(guī)格

測量范圍（空氣、O 2、CO、N 2） 5 × 10 -10 … 1500 毫巴

準確性

950 ... 1050 毫巴 ：讀數(shù)的 ±2.5%

50 ... 950 毫巴 ：讀數(shù)的±5%

1 × 10 -8 … 50 毫巴： ±15 讀數(shù)

重復(fù)性：讀數(shù)的 5%，1 × 10 -8 … 1050 mbar（穩(wěn)定 10 分鐘后）

暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢